EUV-Lithografie : Wenn Licht zur Macht wird: Warum ASML unersetzbar ist

Eine Maschine, so groß wie ein Einfamilienhaus. So schwer wie ein Mittelstreckenflugzeug. Und so präzise, dass sie Strukturen bewegt, die tausendmal dünner sind als ein menschliches Haar – fehlerfrei, millionenfach, rund um die Uhr.

In ihrem Inneren herrscht ein Vakuum. Keine Luft. Kein Staub. Kein Platz für Zufall. Laser treffen 50.000 Mal pro Sekunde winzige Zinntröpfchen und verwandeln sie in grelles Plasma – heißer als die Oberfläche der Sonne. Das Licht wird von Spiegeln gelenkt, die zu den glattesten je vom Menschen gefertigten Objekten gehören – mit Oberflächenabweichungen kleiner als ein einzelnes Atom.

Alles in dieser Maschine dient nur einem einzigen Zweck: Kontrolle. Über Licht, über Bewegung – und über physikalische Grenzen, die lange als unüberwindbar galten.

Diese Maschine produziert keine Chips. Sie erzeugt die nanometergenauen Schaltstrukturen, auf denen moderne Chips entstehen.

Und doch entscheidet sie darüber, ob moderne Prozessoren existieren. Ob Laptops, Smartphones, Desktop Computer leistungsfähiger, Rechenzentren effizienter und ganze Volkswirtschaften wettbewerbsfähig bleiben.

Gebaut wird dieses technologische Monstrum von einem Unternehmen, ohne das die digitale Welt, wie wir sie heute kennen, schlicht nicht funktionieren würde: ASML.

Was hier entsteht, gilt als eine der komplexesten Maschinen, die die Menschheit je konstruiert hat. Ein Produkt aus Jahrzehnten Forschung, tausenden Ingenieuren und physikalischen Grenzbereichen.

Und genau deshalb lohnt es sich, genauer hinzusehen.

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ASML wurde nicht über Nacht zur Schlüssel­figur der Chipindustrie. Sie ist das Endprodukt einer Geschichte, die Jahrzehnte zurückreicht – voller Umwege, Fehleinschätzungen und Menschen, die jahrelang an etwas festhielten, das fast alle anderen längst abgeschrieben hatten.

Die Grundidee hinter dieser Technologie ist älter als ASML selbst. Sie entstand nicht in Konzernzentralen oder modernen Halbleiterwerken, sondern in japanischen Forschungslaboren der 1980er-Jahre – in einer Zeit, in der der Kalte Krieg noch die Richtung der Wissenschaft bestimmte.

Damals stellte sich der japanische Wissenschaftler Hiroo Kinoshita eine scheinbar absurde Frage: Was wäre, wenn man für die Chipherstellung Licht verwenden könnte, das so kurzwelllig ist, dass es von fast allem geschluckt wird?

Licht, das nicht durch Glas geht. Nicht durch Luft. Nicht einmal durch normale Linsen. Extreme Ultraviolette Strahlung – EUV. Der Gedanke dahinter war simpel: Je kürzer die Wellenlänge, desto kleiner lassen sich Strukturen abbilden – und desto leistungsfähiger werden Chips.

Die Idee war theoretisch brillant – praktisch jedoch ein Albtraum. Dieses Licht existiert auf der Erde kaum. Es lässt sich nicht bündeln wie Laserlicht. Es funktioniert nur im Vakuum. Und selbst dann braucht man Spiegel, deren Oberflächen so perfekt sein müssen, dass Abweichungen im Bereich einzelner Atome liegen.

Viele hielten das für eine akademische Spielerei. Andere für physikalisch unmöglich. Dennoch wurde geforscht. Vor allem in staatlichen Laboren in den USA, finanziert durch Militärbudgets des Kalten Krieges. Dort lernte man, wie man extrem energiereiches Licht erzeugt – und warum es fast unmöglich ist, es zu kontrollieren.

Doch mit dem Ende des Kalten Krieges änderte sich alles. Fördergelder versiegten. Programme wurden gestrichen. Projekte eingestellt.

Genau in dieser Phase entstand ein ungewöhnliches Bündnis: Der US-Staat ermutigte nationale Labore, mit privaten Unternehmen zusammenzuarbeiten – um die Forschung zu retten und wirtschaftlich nutzbar zu machen. Chipkonzerne wie Intel, AMD und Motorola investierten hunderte Millionen Dollar, um die Entwicklung weiterzuführen.

Im Jahr 2000 entstand daraus der erste funktionierende EUV-Prototyp: der sogenannte Engineering Test Stand. Doch wirtschaftlich war die Maschine noch immer unbrauchbar. Sie schaffte nur wenige Wafer pro Stunde. Für die Industrie war das viel zu langsam.

Nach und nach zogen sich die meisten amerikanischen Unternehmen aus dem EUV-Konsortium zurück. Die technischen Herausforderungen galten als zu groß, die Kosten als zu hoch. Übrig blieb schließlich nur ein einziges Unternehmen, das bereit war, weiterzugehen. Dieses Unternehmen war ASML.

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ASML hat seinen Sitz in Veldhoven, einer kleinen, unscheinbaren Stadt in den Niederlanden. Gegründet wurde das Unternehmen 1984 von Philips – als eigenständige Ausgründung, mit dem Ziel, Lithografie-Technologie nicht nur konzernintern zu nutzen, sondern weltweit zu vermarkten. Philips hielt in den Anfangsjahren die Kontrolle, flankiert von staatlicher Förderung und politischer Unterstützung für den Aufbau einer europäischen Hightech-Industrie.

Doch Philips gab ASML nicht nur Kapital mit auf den Weg, sondern vor allem Menschen. Einer von ihnen war Jos Benschop, der erste Forscher des Unternehmens und bis heute prägend für dessen technologische Ausrichtung. Ein Physiker, der früh erkannte, dass klassische Lithografie zwangsläufig an physikalische Grenzen stoßen würde.

Ein anderer war Martin van den Brink, der in den 1990er-Jahren zu ASML kam und später zum Chief Technology Officer aufstieg – und zum wichtigsten Verfechter der EUV-Technologie. ASML war bereits früh Teil des US-amerikanischen EUV-Forschungsverbunds. Nun lag es am Unternehmen, aus jahrzehntelanger Grundlagenforschung eine industrielle Realität zu machen.

ASML setzte früh auf ein Netzwerk hochspezialisierter Partner. ZEISS lieferte die Optik – die präzisesten Spiegel der Welt. TRUMPF steuerte die Hochleistungslaser bei, die das extreme ultraviolette Licht überhaupt erst erzeugen. Weitere Schlüsseltechnologien kamen von spezialisierten Zulieferern wie IMS Nanofabrication aus Wien, die Maschinen für die Herstellung der hochkomplexen Masken entwickelten. ASML selbst übernahm die Aufgabe, all diese Komponenten zu einem funktionierenden Gesamtsystem zu verbinden – gemeinsam mit mehreren tausend Vorlieferanten weltweit.

Trotz all dieser Partnerschaften blieb EUV lange ein Problemfall. Die Maschinen erreichten nicht annähernd die nötige Leistung. Erst ab etwa 200 Watt lieferte die EUV-Lichtquelle genug Leistung, um Chips schnell, stabil und wirtschaftlich zu produzieren. Alles darunter war für die Industrie wertlos. Zwischen 2000 und 2015 galt EUV in der Branche als nahezu gescheitert.

Um weiterzumachen, brauchte ASML Geld – viel Geld. Also wandte man sich an genau jene, die diese Technologie am dringendsten brauchten: die großen Chipkonzerne. Intel investierte rund 4,1 Milliarden Dollar, Samsung und TSMC steuerten gemeinsam weitere 1,3 Milliarden Dollar bei.

Damit gelang es EUV erstmals nicht nur physikalisch möglich, sondern industriell nutzbar zu machen. Ab 2016 gingen die ersten Bestellungen ein.

Heute sind die modernsten Chips der Welt ohne EUV nicht mehr herstellbar. Und ASML ist das einzige Unternehmen, das diese Maschinen liefern kann.

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Knapp ein Jahrzehnt später sieht die Welt, die aus dieser langen Wette entstanden ist, ganz anders aus.

ASML beschäftigt heute über 44.000 Mitarbeiter in mehr als 60 Ländern, mit Entwicklungs- und Fertigungsstandorten in Europa, Asien und den USA. Der Umsatz liegt bei über 30 Milliarden Euro, mit zweistelligen Wachstumsraten. Kein anderes Unternehmen weltweit baut EUV-Maschinen — de facto ein Monopol. Die Lieferzeiten für neue Systeme messen sich in Jahren, nicht Monaten, und die größten Chiphersteller der Welt stehen Schlange, um sie zu bekommen.

Gemessen am Börsenwert ist ASML heute das wertvollste Unternehmen Europas. Mit einer Marktkapitalisierung von rund 500 Milliarden Euro lässt der Konzern klassische Industrie- und Technologieriesen hinter sich.

Nicht wegen Umsatz, Gewinn oder Markenmacht - sondern wegen Unersetzbarkeit. Denn kaum war EUV industriell nutzbar, begann eine Entwicklung, die den Bedarf nach Rechenleistung in ungekanntem Tempo explodieren ließ.

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Der Boom der künstlichen Intelligenz verändert gerade die globale Chipindustrie – und zwar schneller, als neue Fabriken gebaut werden können. Große Tech-Konzerne wie Microsoft, Google, Meta oder Amazon investieren Hunderte Milliarden Dollar in neue KI-Rechenzentren. Eine Infrastruktur, die es in diesem Ausmaß noch nie gegeben hat.

Das Ergebnis: Speicherchips werden knapp, Lieferketten geraten unter Druck, Preise vervielfachen sich innerhalb weniger Monate. Hersteller sprechen von einer strukturellen Knappheit. Fabriken, selbst wenn sie heute geplant werden, liefern frühestens in Jahren.

Was für Smartphone-Hersteller, Autozulieferer und Industriekonzerne zum Engpass wird, ist genau die Stelle, an der sich die Macht in der Chipindustrie bündelt. Denn all diese KI-Rechenzentren basieren auf den leistungsfähigsten Chips, die heute produziert werden können. Chips mit Strukturgrößen von wenigen Nanometern. Und die lassen sich nur mit EUV-Systemen herstellen. Systemen von ASML.

Die Auftragsbücher sind entsprechend voll wie nie. Allein im letzten Quartal 2025 bestellten Kunden Maschinen im Wert von knapp 10 Milliarden US-Dollar – fast doppelt so viel wie ein Jahr zuvor. Der wichtigste Kunde: TSMC, der weltgrößte Auftragsfertiger von Chips und Produzent der modernsten KI-Prozessoren für Unternehmen wie Nvidia und AMD.

TSMC investiert so viel wie nie zuvor in neue Werke und Anlagen. Die Taiwaner haben angekündigt, dieses Jahr 52 bis 56 Milliarden Dollar für neue Werke und Anlagen auszugeben. Zum Vergleich: 2025 waren es 40,9 Milliarden. ASML profitiert davon direkt.

Der Konzern erwartet für die kommenden Jahre wieder deutliches Wachstum – getrieben nicht von Konsumgütern, sondern von Rechenzentren, Serverfarmen und künstlicher Intelligenz. Maschinen aus Veldhoven sind dabei der Engpass, an dem sich entscheidet, wie schnell diese neue Infrastruktur wachsen kann.

Die Geschichte von ASML ist keine Geschichte von schnellem Erfolg. Sie zeigt, dass technologische Spitzenleistung nicht zwangsläufig dort entsteht, wo Kapital am lautesten ist, oder Märkte am größten sind. Sondern dort, wo über Jahrzehnte geforscht wird. Wo Rückschläge ausgehalten werden. Und wo jemand bereit ist, an eine Idee zu glauben, lange nachdem andere sie aufgegeben haben.

In einer kleinen Stadt in den Niederlanden entsteht heute eine Maschine, ohne die moderne Technologie nicht mehr gebaut werden kann. Und beweist, dass der alte Kontinent noch immer in der Lage ist, die Grundlagen der digitalen Zukunft zu prägen.

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